Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

Подписной индекс "Роспечать" - 48635

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№3 (38), 2016. МЕТАЛЛУРГИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ

М.А. Волосова, А.С. Метель, Ю.А. Мельник

Осаждение покрытий на подложках из диэлектрической керамики и других материалов, бомбардируемых импульсными пучками высокоэнергетических молекул газа

Для улучшения адгезии при магнетронном осаждении покрытий на диэлектрических подложках их бомбардируют импульсными пучками атомов газа с энергией до 25 кэВ. Атомы газа образуются при перезарядке ионов из плазмы магнетронного разряда, ускоряемых импульсами высокого напряжения на сетке, параллельной магнетронной мишени.

Ключевые слова: магнетронное осаждение, диэлектрическая подложка, синтез покрытий, высокоэнергетические атомы газа, адгезия.

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]