Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№3 (34), 2015. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, МЕТРОЛОГИЯ И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ

Григорьев С.Н., Телешевский В.И., Андреев А.Г., Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Кольнер Л.С., Осипов П.А.

Метрологическая аттестация лазерных микроскопов на основе принципов модуляционной интерферометрии с управляемым фазовым сдвигом

Рассмотрены основные вопросы метрологической аттестации лазерных микроскопов МИМ с длинноходовыми координатными столами нанометровой точности. Сформулированы основные нормируемые метрологические характеристики МИМ. Приведены описания методик испытаний для выявления погрешности измерения линейных размеров структур. Обсуждаются вопросы применимости микроскопов МИМ для измерения различного типа объектов.

 

Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, нанометрология, сверхразрешение, нанометровая точность позиционирования, аэромагнитные направляющие, длинноходовой координатный стол..

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]