Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

Подписной индекс "Роспечать" - 48635

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№3(30), 2014. ТЕХНОЛОГИИ И ОБОРУДОВАНИЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА

В.П. Болбуков

Регулирование энергии быстрых атомов газа изменением сопротивления резистора, находящегося между рабочей камерой и эмиссионной сеткой источника

Исследуются зависимости энергии быстрых атомов аргона, сопровождающих атомы металла до подложки, от сопротивления резистора между рабочей камерой и эмиссионной сеткой источника, а также напряжений  между  его  анодом  и  сеткой  и  анодом  и  мишенью,  распыляемой  внутри  источника. 

 

Ключевые слова: тлеющий разряд, мишень, распыление, атомы металла, осаждение, быстрые атомы аргона..

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]