Ю.А. Сысоев
Рассмотрен вопрос создания газовых смесей, предназначенных для получения многокомпонентных покрытий в ионно плазменных установках. Разработаны методы получения смесей, основанные на последовательной подаче порций газов в смесительную камеру, обеспечивающие заданный состав с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с регулировкой содержания каждого в диапазоне 0…100 % с шагом задания содержания компонента 1 % и погрешностью не более 0,1 % по каждому газу.
Ключевые слова: смеси газов, ионно плазменные технологии, генератор газовых смесей, многокомпонентные покрытия..