Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№2 (29), 2014. ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА

Ю.А. Сысоев

Принципы создания и устройство получения газовых смесей для ионно плазменных установок

Рассмотрен вопрос создания газовых смесей, предназначенных для получения многокомпонентных покрытий в ионно плазменных установках. Разработаны методы получения смесей, основанные на последовательной подаче порций газов в смесительную камеру, обеспечивающие заданный состав с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с регулировкой содержания каждого в диапазоне 0…100 % с шагом задания содержания компонента 1 % и погрешностью не более 0,1 % по каждому газу.

 

Ключевые слова: смеси газов, ионно плазменные технологии, генератор газовых смесей, многокомпонентные покрытия..

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]