Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№1 (24), 2013. МАТЕМАТИКА И ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ

Лоди М.Н., Сергеев Ю.Д.

Исследование поля дифракции при измерении объектов с малыми линейными размерами

Рассмотрен вопрос об измерении малых линейных размеров от 5 до 500 мкм дифракционным методом. В статье приведены результаты исследований поля дифракции ленты методом геометрической теории дифракции. Показаны пути повышения точности.

 

Ключевые слова: дифракция, точность, измерение, контроль, лазер.

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]