Метель А.С.
Предложен новый метод получения наноструктурных покрытий повышенной циклической трещиностойкости и твердости на проводящих и диэлектрических изделиях, основанный на перемешивании в приповерхностном слое изделия участвующих в синтезе атомов высокоэнергетическими нейтральными молекулами газа. Описана экспериментальная установка, разработанная для его реализации.
Password:
Ключевые слова: магнетронное распыление, высокоэнергетические молекулы, перемешивание, нанокомпозитные покрытия, трещиностойкость..