Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

Подписной индекс "Роспечать" - 48635

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№4 (23), 2012. МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ

Болбуков В.П.

Осаждение покрытий в смешанном потоке металлического пара и быстрых молекул газа

Описано осаждение покрытий на диэлектрики с использованием источника атомов металла в смеси с быстрыми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника. При использовании смеси аргона с азотом осаждаются со скоростью до 4 мкм/ч нитридные покрытия, непрерывно бомбардируемые молекулами с энергией, регулируемой от 10 до 300 эВ.

Ключевые слова: мишень, распыление, пар, покрытие, осаждение, быстрые молекулы.

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]