Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

Подписной индекс "Роспечать" - 48635

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№4 (39), 2016. МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ

А.С. Метель, Ю.А. Мельник, П.С. Краснов, Х.А. Нэ

Улучшение адгезии осаждаемого магнетронным методом покрытия при подаче на подложку импульсов высокого напряжения

Проведены исследования магнетронного осаждения упрочняющих покрытий из нитрида титана с подачей на подложки отрицательного напряжения 100 В или импульсов амплитудой до 25 кВ. Во втором случае из-за перемешивания атомов подложки покрытия бомбардирующими их высокоэнергетическими ионами адгезия значительно лучше.

Ключевые слова: магнетронное распыление, атомы металла, синтез покрытий, высокоэнергетические ионы, перемешивание, адгезия.

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]