Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

№2 (29), 2014. МАТЕМАТИКА И ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ

В.П. Болбуков

Распыление мишени на дне полого катода источника быстрых атомов газа в неоднородном магнитном поле

Исследуются зависимости распределения по поверхности мишени, установленной на дне полого катода источника быстрых атомов аргона, скорости ее распыления ионами аргона от конфигурации магнитного поля и напряжения между ней и катодом.

 

Ключевые слова: мишень, распыление, пар, тлеющий разряд, осаждение, быстрые атомы..

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]