Мельник Ю.А., Метель А.С., Мустафаев Э.С., Нэй Х.А.
Описан новый метод упрочнения режущего инструмента путем синтеза на нем нитрида титана при испарении титана в тигле-аноде тлеющего разряда. Показано, что при уменьшении площади поверхности анода возникает положительное анодное падение потенциала, его величина и энергия бомбардирующих тигельэлектронов растут с уменьшением давления газа, обеспечивая испарение титана и высокую скорость осаждения покрытия на подложку.
Ключевые слова: износостойкие покрытия, испарение титана, тигель-анод, электронный нагрев, тлеющий разряд c полым катодом..