Дмитриев А.М., Коробова Н.В.
Магнетронный высокочастотный метод нанесения покрытий с одним источником распыления обеспечивает однородное качество покрытия. Мишень магнетрона при этом методе включает в себя все материалы, входящие в состав будущего покрытия. В качестве титановой составляющей мишени применена измельченная титановая стружка. Описаны технологии измельчения титановой стружки и прессования композиционных мишеней для магнетронов.
Ключевые слова: нанесение комбинированных покрытий, композиционная мишень магнетрона, титановая составляющая мишени, измельченная титановая стружка, изготовление распыляемых мишеней.